TJ'99 : VI Ogólnopolskie Seminarium "Techniki jonowe", Szklarska Poręba, 3-5 marca 1999 r. /

TJ'99 : VI Ogólnopolskie Seminarium "Techniki jonowe", Szklarska Poręba, 3-5 marca 1999 r. / Techniki jonowe VI Ogólnopolskie Seminarium "Techniki jonowe" Szóste Ogólnopolskie Seminarium "Techniki jonowe" Politechnika Wrocławska. Instytut Techniki Mikrosystemów. - Wrocław : Oficyna Wydawnicza PW, 1999. - 163 s. : il. ; 24 cm.

Bibliogr. przy ref.

8370854389


Jony--konferencje.
Obróbka powierzchniowa--konferencje.
Powłoki--konferencje.
Technika plazmy--konferencje.

537.5 : 54-7 : 621.384](061)