Widok standardowy Widok MARC Widok ISBD

Madou, Marc J.

Fundamentals of microfabrication : The science of miniaturization / Marc J. Madou. - 2nd ed. - Boca Raton : CRC Press ; 2002. - [18], 723 s., [16] k. tabl. : il. ; 29 cm.

Bibliogr. przy rozdz.

ISBN: 0849308267

Subjects--Topical Terms:
Mikroprodukcja.
Mikroelektronika.
Mikroobróbka.
Systemy mikroelektromechaniczne--projektowanie i konstrukcja.

Universal Decimal Class. No.: 621.3.049.77 : 621.375.826 : 621.78