Ion implantation /

Ion implantation / G. Dearnaley [et al.]. - Amsterdam : New York : North-Holland Publishing Company ; American Elsevier Publishing Company, 1973. - XV, 802 s. : il. ; 23 cm. - Defects in Crystalline Solids, vol. 8 0167-773X ; . - Defects in Crystalline Solids vol. 8 .

Bibliogr. przy rozdz. Indeks.

0720417589 0444104887


Implantacja jonów.