Gegenseitige Beeiflüssung von Dotierung und Oxidation bei hochdotiertem Silizium.[Praca doktorska] /

Biermann Erich.

Gegenseitige Beeiflüssung von Dotierung und Oxidation bei hochdotiertem Silizium.[Praca doktorska] / Biermann Erich. - Berlin : 1990. - [2],V,110 s.,bibliogr. ; 20cm.

Berlin,Techn.Univ.,Fachber.Elektrotechnik.

621.315.59