Metoda nanoindentacji w badaniach procesów odkształcenia plastycznego półprzewodników /

Chrobak, Dariusz (inżynieria materiałowa).

Metoda nanoindentacji w badaniach procesów odkształcenia plastycznego półprzewodników / Dariusz Chrobak. - Katowice : Uniwersytet Śląski : Oficyna Wydawnicza WW, 2012. - 138, [1] s. : il. ; 24 cm.

Bibliogr. s. [127]-138.


Streszcz. ang.

9788360743553


Nanoindentacja.
Sprężystość--badania.
Półprzewodniki--właściwości mechaniczne.
Półprzewodniki--próby.

621.315.5 : 620.17