Instytut Technologii Elektronowej powołany został w 1965 przy Wydziale IV Polskiej Akademii Nauk. W 1970 został włączony do Naukowo-Przemysłowego Centrum Półprzewodników i Mikroelektroniki. Od 1993 jest jednostką samodzielną.

Nauka Polska. - R.15, nr 1(1967) ; R.18, nr 6(1970)

INP 1970; 1992/93