Utworzony w 1970 pod nazwą Ośrodek Naukowo-Produkcyjny Materiałów Półprzewodnikowych. W 1979 zmiana nazwy na Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych. 1 października 2010 nastąpiła zmiana formy prawnej ITME z "jednostki badawczo-rozwojowej" na "instytut badawczy".

Placówki Informacji Naukowej i Technicznej w Polsce : informator. - Warszawa, 1994.

INP

Procesy zachodzące w toku spiekania tworzyw o składzie stechiometrycznym ZrO2 TiO2 domieszkowanych tlenkiem cynku / Maria Adamiec. - Warszawa, 1976. Inst. spr.

Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych http://www.itme.edu.pl/historia.html