Widok standardowy
Widok MARC
Trawienie plazmowe. (Hasło przedmiotowe)
Forma odrzucona:
- Gravure par plasma [f]
- Plasma etching [c]
Zobacz też:
- Hasło szersze: Technika plazmy.
- Mikrolitografia.
RAMEAU
Chemia. Encyklopedia techniki. - Warszawa, 1993 (Usuwanie do fazy gazowej atomów warstwy powierzchniowej ciał stałych w wyniku ich rozpylenia plazmą generowaną w gazie szlachetnym lub reaktywnym)