Posadowski, Witold Michał (1949- ).

Niekonwencjonalne układy magnetronowe do próżniowego nanoszenia cienkich warstw / Witold Michał Posadowski. - Wrocław : Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2001. - 160 stron : ilustracje ; 24 cm.

Literatura na stronach 148-160.

8370855814


Magnetrony
Rozpylanie
Technika próżniowa
Technologia
Układ scalony cienkowarstwowy
Zastosowanie i wykorzystanie
Warstwy cienkie (fizyka).
Magnetrony--zastosowania przemysłowe.
Powierzchnie (technologia).


Inżynieria i technika

621.385 : 533.5 : 537.5