Posadowski, Witold Michał (1949- ).
Niekonwencjonalne układy magnetronowe do próżniowego nanoszenia cienkich warstw /
Witold Michał Posadowski.
- Wrocław : Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2001.
- 160 stron : ilustracje ; 24 cm.
Literatura na stronach 148-160.
8370855814
Magnetrony
Rozpylanie
Technika próżniowa
Technologia
Układ scalony cienkowarstwowy
Zastosowanie i wykorzystanie
Warstwy cienkie (fizyka).
Magnetrony--zastosowania przemysłowe.
Powierzchnie (technologia).
Inżynieria i technika
621.385 : 533.5 : 537.5