TY  - BOOK
AU  - Posadowski,Witold MichaÅ
ED  - Politechnika WrocÅawska.
TI  - Niekonwencjonalne ukÅady magnetronowe do prÃ³Å¼niowego nanoszenia cienkich warstw
SN  - 8370855814
PY  - 2001///
CY  - WrocÅaw
PB  - Oficyna Wydawnicza Politechniki WrocÅawskiej
KW  - Magnetrony
KW  - DBN
KW  - Rozpylanie
KW  - Technika prÃ³Å¼niowa
KW  - Technologia
KW  - UkÅad scalony cienkowarstwowy
KW  - Zastosowanie i wykorzystanie
KW  - Warstwy cienkie (fizyka)
KW  - kaba
KW  - zastosowania przemysÅowe
KW  - Powierzchnie (technologia)
KW  - InÅ¼ynieria i technika
N1  - Literatura na stronach 148-160
ER  -