TY  - BOOK
AU  - Kątcki,Jerzy
TI  - Zastosowanie mikroskopii elektronowej w badaniach materiałów i przyrządów półprzewodnikowych
T2  - Biblioteka Elektroniki,
SN  - 8391417905
PY  - 2000///
CY  - Warszawa
PB  - Instytut Technologii Elektronowej
KW  - Mikroskopia elektronowa skaningowa
KW  - kaba
KW  - Półprzewodniki
KW  - badania
KW  - defekty
N1  - Bibliogr. przy rozdz
ER  -