Madou, Marc J. <br/><br/>
Fundamentals of microfabrication :  The science of miniaturization / 
Marc J. Madou. 
 - 2nd ed. 
 - Boca Raton :  CRC Press ;  2002. 
 - [18], 723 s., [16] k. tabl. :  il. ;  29 cm. 
<br/><br/>Bibliogr. przy rozdz. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0849308267 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Mikroprodukcja.<br/>Mikroelektronika.<br/>Mikroobróbka.<br/>Systemy mikroelektromechaniczne--projektowanie i konstrukcja.
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.3.049.77 :  621.375.826 :  621.78