TY  - BOOK
AU  - Madou,Marc J.
TI  - Fundamentals of microfabrication: The science of miniaturization 
SN  - 0849308267
PY  - 2002///
CY  - Boca Raton
PB  - CRC Press
KW  - Mikroprodukcja
KW  - kaba
KW  - Mikroelektronika
KW  - Mikroobróbka
KW  - Systemy mikroelektromechaniczne
KW  - projektowanie i konstrukcja
N1  - Bibliogr. przy rozdz
ER  -