Rangelow, Ivo W. <br/><br/>
Deep etching of silicon / 
Ivo W. Rangelow. 
 - Wrocław :  Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej,  1996. 
 - VI, 119, [1] s. :  il. ;  24 cm. 
<br/><br/>Bibliogr. s. 113-[120]. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>8370852548 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Mikroobróbka.<br/>Trawienie plazmowe.<br/>Krzem--trawienie kwasem.
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>538.95 :  620.183 :  621.38-181.48 :  678.84