TY  - BOOK
AU  - Rangelow,Ivo W.
ED  - Politechnika Wrocławska.
TI  - Deep etching of silicon
SN  - 8370852548
PY  - 1996///
CY  - Wrocław
PB  - Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
KW  - Mikroobróbka
KW  - kaba
KW  - Trawienie plazmowe
KW  - Krzem
KW  - trawienie kwasem
N1  - Bibliogr. s. 113-[120]
ER  -