TY  - BOOK
AU  - Hennig,Klaus
ED  - EPM 87
TI  - EPM 87: Energy pulse and particle beam modification of materials : International Conference held September 7-11, 1987, Dresden, G.D.R. 
T2  - Physical Research,
SN  - 3055005406
PY  - 1988///
CY  - Berlin
PB  - Akademie-Verlag
KW  - Półprzewodniki
KW  - powierzchnie
KW  - konferencje
KW  - kaba
KW  - Implantacja jonów
KW  - Wiązki cząstek
N1  - Bibliogr. przy ref. Indeks
ER  -