Trube, Jutta. <br/><br/>
Auswirkung von Temperaturanderungen auf die Abbildungsgenauigkeit der Rontgenstrahllithographie zur Herstellung integrierter Schaltkreise / 
Jutta Trube. 
 - Berlin :  Technische Universität Berlin,  1992. 
 - 114 s. :  il. ;  21 cm. 
<br/><br/>Dissertation. Technische Universität Berlin, 1992. 
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>620.179.15  621.38