Proceedings of the 13th International Conference "Ion Implantation and other Applications of Ions and Electrons", ION 2022 :  Kazimierz Dolny, Poland, June 27-30, 2022 / 
 International Conference on Ion Implantation and other Applications of Ions and Electrons, 13  ION 2022 
editors of the proceedings: Marcin Turek, Jerzy Żuk. 
 - Warsaw :  Polish Academy of Sciences. Institute of Physics,  2022. 
 - Stron [3], 679-788 :  ilustracje ;  30 cm. 
 - Acta Physica Polonica. A.,  vol. 142, no. 6 (2022)  0587-4246 ; .
 - Acta Physica Polonica.  A  vol. 142, no. 6 (2022) .
<br/><br/> Druk dwuszpaltowy.  Praca wydana w czasopiśmie: Acta Physica Polonica. A / PAN. Instytut Fizyki, Polskie Towarzystwo Fizyczne, Vol. 142, no. 6 (2022). 
<br/><br/>Bibliografia przy referatach. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Implantacja jonów--konferencje.<br/>Wiązki elektronowe--konferencje.