TY  - BOOK
AU  - Putzar Renate.
ED  - Technische Universität (Berlin).
TI  - Auflösungsgrenzen bei der Reparatur klarer Defekte auf Masken für die Röntgenstrahllithographie mittels laserinduzierter Abscheidung
PY  - 1991///
CY  - Berlin
PB  - Technische Universität
N1  - Dissertation. Fakultät für Elektrotechnik der Technischen Universität Berlin 1991, D 83; Praca doktorska, Technische Universität, 1991; Bibliografia na stronach 124-126
ER  -