TY  - BOOK
AU  - Nishi Yoshio
AU  - Doering Robert
AU  - Wooldridge Tim
TI  - Handbook of semiconductor manufacturing technology
SN  - 0824787838
PY  - 2000///
CY  - New York, Basel
PB  - Marcel Dekker
KW  - Półprzewodniki
N1  - Bibliogr. przy rozdz
ER  -