TY  - BOOK
AU  - Dearnaley,Geoffrey
TI  - Ion implantation
T2  - Defects in Crystalline Solids,
SN  - 0720417589
PY  - 1973///
CY  - Amsterdam, New York
PB  - North-Holland Publishing Company, American Elsevier Publishing Company
KW  - Implantacja jonów
KW  - kaba
N1  - Bibliogr. przy rozdz. Indeks
UR  - https://library.put.poznan.pl/spisy_tresci/237553.pdf
ER  -