Dziuban, Jan A. <br/><br/>
Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemów / 
Jan A. Dziuban. 
 - Wrocław :  Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej,  2002. 
 - 345 s. :  il. (w tym kolor.) ;  24 cm. 
<br/><br/>Bibliogr. przy rozdz. Spis cytowań literatury własnej s. 341-345. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>8370856349 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Krzem.<br/>Mikroobróbka.<br/>Systemy mikroelektromechaniczne.<br/>Połączenia (technologia).
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.01 :  661.68