TY  - BOOK
AU  - Dziuban,Jan A.
ED  - Politechnika Wrocławska.
TI  - Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemów
SN  - 8370856349
PY  - 2002///
CY  - Wrocław
PB  - Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
KW  - Krzem
KW  - kaba
KW  - Mikroobróbka
KW  - Systemy mikroelektromechaniczne
KW  - Połączenia (technologia)
N1  - Bibliogr. przy rozdz; Spis cytowań literatury własnej s. 341-345
ER  -