Wybrane zagadnienia teorii i zastosowań implantacji jonowej / Paweł Żukowski [et al.] ; pod red. nauk. Pawła Żukowskiego ; Politechnika Lubelska. - Lublin : Wydaw. PL, 2003. - 190 s. : wykr. ; 24 cm.

Bibliogr. s. 172-190.

8389246562


Implantacja jonów--modele matematyczne.
Krzem--domieszki--modele matematyczne.

661.6 : 621.3 : 53