Lindner Jörg K.N.

Untersuchungen zur Ionestrahlsynthese vergrabener metallischer Schichten durch MeV Ni-Implantation in Silizium.[Praca doktorska.] / Lindner Jörg K.N. - Dortmund : 1989. - [4],173,[6]s.,bibliogr. ; 21cm.

Univ.Dortmund,Abteil,Physik.

537.5 621.315.59