Łysko, Jan M. <br/><br/>
Anizotropia trawienia i piezorezystancji w kryształach półprzewodników :  przykłady wykorzystania w przyrządach MEMS / 
Jan M. Łysko ; Instytut Technologii Elektronowej. 
 - Warszawa :  Instytut Technologii Elektronowej,  2004. 
 - 135 strony :  ilustracje (w tym kolorowe), wykresy ;  24 cm. 
 - Biblioteka Elektroniki,  28  0067-7647 ; .
 - Biblioteka Elektroniki  28 .
<br/><br/>Bibliografia przy rozdziałach. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>8391417948 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Półprzewodniki--właściwości elektronowe.<br/>Systemy mikroelektromechaniczne--projektowanie i konstrukcja.<br/>Półprzewodniki--trawienie chemiczne.
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.3.049.77 : 531 : 54