TY  - BOOK
AU  - Åysko,Jan M.
ED  - Instytut Technologii Elektronowej.
TI  - Anizotropia trawienia i piezorezystancji w krysztaÅach pÃ³ÅprzewodnikÃ³w: przykÅady wykorzystania w przyrzÄdach MEMS 
T2  - Biblioteka Elektroniki,
SN  - 8391417948
PY  - 2004///
CY  - Warszawa
PB  - Instytut Technologii Elektronowej
KW  - PÃ³Åprzewodniki
KW  - wÅaÅciwoÅci elektronowe
KW  - kaba
KW  - Systemy mikroelektromechaniczne
KW  - projektowanie i konstrukcja
KW  - trawienie chemiczne
N1  - Bibliografia przy rozdziaÅach
ER  -