Zubel, Irena. <br/><br/>
Kształtowanie struktur przestrzennych w krzemie metodą trawienia anizotropowego do zastosowań w mikroelektronice / 
Irena Zubel. 
 - Wrocław :  Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej,  2004. 
 - 200 stron :  ilustracje ;  24 cm. 
<br/><br/>Bibliografia na stronach 188-200. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>8370858236 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Krzem.<br/>Anizotropia.<br/>Mikroelektronika.
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>661.6 : 621.3.049.77