TY  - BOOK
AU  - Zubel,Irena
ED  - Politechnika Wrocławska.
TI  - Kształtowanie struktur przestrzennych w krzemie metodą trawienia anizotropowego do zastosowań w mikroelektronice
SN  - 8370858236
PY  - 2004///
CY  - Wrocław
PB  - Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
KW  - Krzem
KW  - kaba
KW  - Anizotropia
KW  - Mikroelektronika
N1  - Bibliografia na stronach 188-200
ER  -