Miernictwo Elementów Półprzewodnikowych i Układów Scalonych.  VI Krajowa Konferencja MEPiUS 85 Gdańsk- Sobieszewo, 9-11 października 1985. Teksty referatów.  Cz. 1,  Sesja I-III / 
Oprac. Kibort Janina. 
 - Gdańsk :  PIE-BOINTE,  1985. 
 - 198 s.,bibliogr. ;  24 cm. 
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.3.049.77(061.3)  621.38(061.3)