TY - BOOK AU - Olik,Roman ED - Symposium on Vacuum Based Science and Technology ED - Politechnika Koszalińska. ED - Towarzystwo Wieży Clausiusa. ED - BalticNet-PlasmaTec. ED - Annual Meeting of the German Vacuum Society TI - 6th Symposium on Vacuum Based Science and Technology in conjunction with 10th Annual Meeting of German Vacuum Society (DVG), September 20-22, 2011, Koszalin-Kołobrzeg, Poland SN - 9788373652651 PY - 2011/// CY - Koszalin PB - Wydawnictwo Uczelniane Politechniki Koszalińskiej KW - Próżnia (technologia) KW - konferencje KW - kaba KW - Nanotechnologia KW - Powlekanie powierzchni KW - Mikroelektronika próżniowa ER -