TY - BOOK AU - Chrobak,Dariusz ED - Oficyna Wydawnicza Wacław Walasek. ED - Uniwersytet Śląski (Katowice). TI - Metoda nanoindentacji w badaniach procesów odkształcenia plastycznego półprzewodników SN - 9788360743553 PY - 2012/// CY - Katowice PB - Uniwersytet Śląski, Oficyna Wydawnicza WW KW - Nanoindentacja KW - kaba KW - Sprężystość KW - badania KW - Półprzewodniki KW - właściwości mechaniczne KW - próby N1 - Bibliogr. s. [127]-138 ER -