Cienkowarstwowe struktury metaliczne i tlenkowe : właściwości, technologia, zastosowanie w elektrotechnice /
Thin layer metallic and oxide structures : properties, technology, electronics [!] applications
Jan Ziaja.
- Wrocław : Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2012.
- 125, [2] s. : il. (w tym kolor.), err. ; 24 cm.
- Prace Naukowe Instytutu Podstaw Elektrotechniki i Elektrotechnologii Politechniki Wrocławskiej. Monografie, 17 0324-945X ; .
- Prace Naukowe Instytutu Podstaw Elektrotechniki i Elektrotechnologii Politechniki Wrocławskiej 48 Prace Naukowe Instytutu Podstaw Elektrotechniki i Elektrotechnologii Politechniki Wrocławskiej. Monografie 17 .
Praca wydana w czasopiśmie: Prace Naukowe Instytutu Podstaw Elektrotechniki i Elektrotechnologii Politechniki Wrocławskiej. Monografie, 17. W serii gł. nr 48. Popr. tyt. równol. wg err.: Thin layer metallic and oxide structures : properties, technology, electrotechnics applications.
Bibliogr. s. 113-125.
Streszcz. ang.
Technologia Układ scalony cienkowarstwowy Warstwy cienkie (fizyka). Natryskiwanie plazmowe.