Ziaja, Jan.

Cienkowarstwowe struktury metaliczne i tlenkowe : właściwości, technologia, zastosowanie w elektrotechnice / Thin layer metallic and oxide structures : properties, technology, electronics [!] applications Jan Ziaja. - Wrocław : Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2012. - 125, [2] s. : il. (w tym kolor.), err. ; 24 cm. - Prace Naukowe Instytutu Podstaw Elektrotechniki i Elektrotechnologii Politechniki Wrocławskiej. Monografie, 17 0324-945X ; . - Prace Naukowe Instytutu Podstaw Elektrotechniki i Elektrotechnologii Politechniki Wrocławskiej 48 Prace Naukowe Instytutu Podstaw Elektrotechniki i Elektrotechnologii Politechniki Wrocławskiej. Monografie 17 .

Praca wydana w czasopiśmie: Prace Naukowe Instytutu Podstaw Elektrotechniki i Elektrotechnologii Politechniki Wrocławskiej. Monografie, 17. W serii gł. nr 48. Popr. tyt. równol. wg err.: Thin layer metallic and oxide structures : properties, technology, electrotechnics applications.

Bibliogr. s. 113-125.


Streszcz. ang.


Technologia
Układ scalony cienkowarstwowy
Warstwy cienkie (fizyka).
Natryskiwanie plazmowe.


Inżynieria i technika