TY - BOOK AU - Ziaja,Jan ED - Politechnika Wrocławska. TI - Cienkowarstwowe struktury metaliczne i tlenkowe: właściwości, technologia, zastosowanie w elektrotechnice T2 - Prace Naukowe Instytutu Podstaw Elektrotechniki i Elektrotechnologii Politechniki Wrocławskiej. Monografie, PY - 2012/// CY - Wrocław PB - Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej KW - Technologia KW - DBN KW - Układ scalony cienkowarstwowy KW - Warstwy cienkie (fizyka) KW - kaba KW - Natryskiwanie plazmowe KW - Inżynieria i technika N1 - Praca wydana w czasopiśmie: Prace Naukowe Instytutu Podstaw Elektrotechniki i Elektrotechnologii Politechniki Wrocławskiej. Monografie, 17; W serii gł. nr 48; Popr. tyt. równol. wg err.: Thin layer metallic and oxide structures : properties, technology, electrotechnics applications; Bibliogr. s. 113-125 ER -