TY  - BOOK
AU  - Turek,Marcin
AU  - Żuk,Jerzy
ED  - International Conference on Ion Implantation and other Applications of Ions and Electrons
ED  - Polska Akademia Nauk.
TI  - Proceedings of the X International Conference on Ion Implantation and other Applications of Ions and Electrons - ION 2014: Kazimierz Dolny, Poland, June 23-26, 2014 
T2  - Acta Physica Polonica. A,
PY  - 2015///
CY  - Warsaw
PB  - Polish Academy of Sciences. Institute of Physics
KW  - Implantacja jonów
KW  - konferencje
KW  - kaba
KW  - Wiązki elektronowe
N1  - Druk dwuszpaltowy; Bibliogr. przy rozdz
ER  -