Einflass von strahlungsinduzierten Elektronenauf die Struktarübertragung zur Herstellung integrierter Schaltungen mittels Röntgenstrahllitographie / Jürgen Chlebek.
Rodzaj materiału:
TekstSzczegóły wydania: Berlin : Technische Universität Berlin, 1990.Opis: 123 s. : il. ; 21 cmTyp zawartości: - Tekst
- Bez urządzenia pośredniczącego
- Wolumin
| Typ dokumentu | Obecna biblioteka | Kolekcja | Sygnatura | Status | Kod kreskowy | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Niewypożyczane | Biblioteka Politechniki Poznańskiej w czytelni | Czytelnia | A 116688 | Dostępny | 001116688000 |
Liczba zamówień: 0
Dissertation. Technische Universität Berlin 1990.