| 000 | 01111cam a2200325 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | zz2003946627 | ||
| 003 | NUKAT | ||
| 005 | 20251228213636.0 | ||
| 008 | 030508s2002 xxua | |00| ||eng|c | ||
| 020 | _a0849308267 | ||
| 035 | _a(OCoLC)1412958401 | ||
| 040 |
_aKR 93/IZ _cKR 93/IZ _dKR 93/AP _dKR 93/MKs |
||
| 080 |
_a621.3.049.77 : _a621.375.826 : _a621.78 |
||
| 100 | 1 |
_aMadou, Marc J. _930821 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aFundamentals of microfabrication : _bThe science of miniaturization / _cMarc J. Madou. |
| 250 | _a2nd ed. | ||
| 260 |
_aBoca Raton : _bCRC Press ; _c2002. |
||
| 300 |
_a[18], 723 s., [16] k. tabl. : _bil. ; _c29 cm. |
||
| 336 | _aTekst | ||
| 337 | _aBez urządzenia pośredniczącego | ||
| 338 | _aWolumin | ||
| 504 | _aBibliogr. przy rozdz. | ||
| 650 | 7 |
_aMikroprodukcja. _2kaba _922306 |
|
| 650 | 7 |
_aMikroelektronika. _2kaba _911198 |
|
| 650 | 7 |
_aMikroobróbka. _2kaba _97619 |
|
| 650 | 7 |
_aSystemy mikroelektromechaniczne _xprojektowanie i konstrukcja. _2kaba _931171 |
|
| 920 | _a0-8493-0826-7 | ||
| 999 |
_c123762 _d123762 |
||