Auswirkung von Temperaturanderungen auf die Abbildungsgenauigkeit der Rontgenstrahllithographie zur Herstellung integrierter Schaltkreise /
Trube, Jutta.
Auswirkung von Temperaturanderungen auf die Abbildungsgenauigkeit der Rontgenstrahllithographie zur Herstellung integrierter Schaltkreise / Jutta Trube. - Berlin : Technische Universität Berlin, 1992. - 114 s. : il. ; 21 cm.
Dissertation. Technische Universität Berlin, 1992.
620.179.15 621.38
Auswirkung von Temperaturanderungen auf die Abbildungsgenauigkeit der Rontgenstrahllithographie zur Herstellung integrierter Schaltkreise / Jutta Trube. - Berlin : Technische Universität Berlin, 1992. - 114 s. : il. ; 21 cm.
Dissertation. Technische Universität Berlin, 1992.
620.179.15 621.38