Auswirkung von Temperaturanderungen auf die Abbildungsgenauigkeit der Rontgenstrahllithographie zur Herstellung integrierter Schaltkreise / Jutta Trube.
Rodzaj materiału:
TekstSzczegóły wydania: Berlin : Technische Universität Berlin, 1992.Opis: 114 s. : il. ; 21 cmTyp zawartości: - Tekst
- Bez urządzenia pośredniczącego
- Wolumin
| Typ dokumentu | Obecna biblioteka | Kolekcja | Sygnatura | Status | Kod kreskowy | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Niewypożyczane | Biblioteka Politechniki Poznańskiej w czytelni | Czytelnia | A 119604 | Dostępny | 001119604000 |
Liczba zamówień: 0
Dissertation. Technische Universität Berlin, 1992.