Auflösungsgrenzen bei der Reparatur klarer Defekte auf Masken für die Röntgenstrahllithographie mittels laserinduzierter Abscheidung /

Putzar Renate.

Auflösungsgrenzen bei der Reparatur klarer Defekte auf Masken für die Röntgenstrahllithographie mittels laserinduzierter Abscheidung / Renate Putzar. - Berlin : Technische Universität, 1991. - [8], 126, [26] stron : ilustracje ; 30 cm.

Dissertation. Fakultät für Elektrotechnik der Technischen Universität Berlin 1991, D 83.

Praca doktorska, Technische Universität, 1991.

Bibliografia na stronach 124-126.

620.179.15