Widok standardowy Widok MARC Widok ISBD

Auflösungsgrenzen bei der Reparatur klarer Defekte auf Masken für die Röntgenstrahllithographie mittels laserinduzierter Abscheidung / Renate Putzar.

Autor: Współtwórca(-y): Rodzaj materiału: TekstTekstSzczegóły wydania: Berlin : Technische Universität, 1991.Opis: [8], 126, [26] stron : ilustracje ; 30 cmTyp zawartości:
  • Tekst
Tryb odtwarzania:
  • Bez urządzenia pośredniczącego
Typ nośnika:
  • Wolumin
Uwaga dotycząca dysertacji: Praca doktorska, Technische Universität, 1991.
Egzemplarze
Typ dokumentu Obecna biblioteka Kolekcja Sygnatura Status Kod kreskowy
Niewypożyczane Biblioteka Politechniki Poznańskiej w czytelni Czytelnia A 119164 Dostępny 0000204166
Liczba zamówień: 0

Dissertation. Fakultät für Elektrotechnik der Technischen Universität Berlin 1991, D 83.

Praca doktorska, Technische Universität, 1991.

Bibliografia na stronach 124-126.

Udostępnij