Auflösungsgrenzen bei der Reparatur klarer Defekte auf Masken für die Röntgenstrahllithographie mittels laserinduzierter Abscheidung / Renate Putzar.
Rodzaj materiału:
TekstSzczegóły wydania: Berlin : Technische Universität, 1991.Opis: [8], 126, [26] stron : ilustracje ; 30 cmTyp zawartości: - Tekst
- Bez urządzenia pośredniczącego
- Wolumin
| Typ dokumentu | Obecna biblioteka | Kolekcja | Sygnatura | Status | Kod kreskowy | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Niewypożyczane | Biblioteka Politechniki Poznańskiej w czytelni | Czytelnia | A 119164 | Dostępny | 0000204166 |
Liczba zamówień: 0
Dissertation. Fakultät für Elektrotechnik der Technischen Universität Berlin 1991, D 83.
Praca doktorska, Technische Universität, 1991.
Bibliografia na stronach 124-126.